什麼是微振動?
微振動的定義泛指頻率在2~100 Hz，振幅在50 μm/s以下之振動量。無論是廠區內部樓板的強度、設備本身的運轉、或廠房其他設備的影響、廠房內的噪音等，都會成為振動的來源(Source)。而廠區外的影響則包括外部交通工具、附近 廠房的施工、地震等，也都是微振動的來源。
微振標準曲線Vibration Criterion（VC-Curve）
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微振標準曲線是由Eric Ungar和Colin Gordon於1980年發展而成。 最初是為了半導體，醫療和生物製藥行業的振動敏感設備的通用振動標準而開發的，但目前已在多種技術應用中得到應用。
該曲線採用一組三分之一的八度音階(1/3 Octave)速度譜的形式，以及國際標準組織（ISO）關於振動對建築物中人的影響。
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更多的精密設備如原子力顯微鏡、電子顯微鏡、高倍率顯微鏡、半導體的曝光機、光學元件模組鏡面加工等等再啟用前皆會進行微振動規格的檢核，確認是否符合規定。
一、微振量测：
1. 素地量測
2. 成廠廠房樓板量測
3. 機台進場前後基座微振量測
4.減振器安裝前後微振量測
